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晶圆研磨液过滤要求是什么?当然是精度越高越好。但是精度高了会不会有别的问题?
2021-01-19 16:57:47

晶圆研磨液过滤要求是什么?当然是精度越高越好。但是精度高了会不会有别的问题?

这个答案是肯定的。

晶圆研磨液过滤要求高了以后,对滤芯的要求就变高了

普通的滤芯难以满足既要提高精度,还要流量不影响,还要不容易堵塞。

这个就得用骏海制造的沉降式离心机了。

没有滤芯,不堵塞,靠离心力沉降。


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